昨日日経新聞に
こんな記事が出て、今日はSTOP高になっています。
よくよく調べてみると6/2にも
このような記事が出ていました。
静電チャックが何に使われて、TOTOの技術が何が凄いのか調べてみました。
シリコンプロセスのRIE(Reactive Ion Etching)のウエハ固定に使われているようです。
元半導体プロセスエンジニアだった頃（約40年前）に私が実際に使っていたRIEはグラファイトシート（グラファイトのトレイ）にウエハを載せてチャンバーに入れて、真空に引いたのちにCF4やSF6等の反応ガスを流してチャンバー上下の電極に電圧をかけてプラズマ状態を作り出して、SiO2等の絶縁膜を削っていました。
グラファイトシートの下は削る均一性を保つために水冷の温度コントロールをしていました。当時の線幅はせいぜい100nm程度だったので、現在の2nm（次世代はそれ以下）で絶縁膜を削るにはRIEの設備の進化が必須だったようです。
①ウエハの固定と精度（傾き、平坦性等）
グラファイトシートからSiC、アルミナ、窒化アルミ等の材料の変更
固定は静電気
TOTO以外にも京セラや日本特殊陶業等も参入
②緻密な温度コントロール
熱伝導の点ではSiC>窒化アルミ>アルミナの順だが、コストは真逆
SiCは半導体なので完全に絶縁できない欠点あり
現在は水冷+シリコンウエハ下にヘリウムガスを流し込んで温度コントロール
TOTOはイットリアADコートと言う技術でアルミナにコーティングし、温度コントロール等の諸課題を克服。
更に次の世代のRIE（超低温エッチング）にも対応できるようです。
イットリアADコートはRIE装置の防着版にも使用されているそうです。
ADコートの技術は産総研が開発し、TOTOが製品化、特許も多数持って他社の追従を許さないようです。
（2026年3月期決算説明資料より）
現在の静電チャックのシェアは
アメリカのラムリサーチ 約20%
TOTO 約17%
日本の企業はラムリサーチ以外のシェアをほぼ独占状態。
今後、超低温エッチングが主流になるとTOTOのシェアが拡大するとの思惑があります。
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ここ数週間、ガラス・土石セクタの株価が上がってきているのは知っていましたが、このような背景があったのですね。
ナフサ不足の時に注目されたTOTOだったので業績を調べておけば良かったですね。
既にTOTOの営業利益の半分はこの半導体事業が占めている模様。シェアが本格的に上がってくるのは未だ2年くらい先なので、相場全体が暴落した際の購入銘柄候補にしておきます。